Prozessbecken und Einbaukomponenten

Prozessbecken sind für die verschiedenen Spül-, Reinigungs- und Ätzprozesse verfügbar. Das Material der Prozessbecken wird nach thermischer und chemischer Resistenz ausgewählt. Die Prozessbäder werden mit verschiedensten Ausstattungen angeboten:

• Umlauffiltration
• Temperierungen direkt / indirekt
• Chemikalienversorgungseinrichtungen
• Substratbewegung vertikal / horizontal
• Leitwertmessung für Reinstwasser
• Ultraschall
• Megaschallsysteme
• mechanische oder manuelle Deckelöffnung
• Kühldeckel / Kühlaufsätze

Die Zusammenstellung der Prozessbecken und deren Ausstattungen erfolgt individuell nach kundenspezifischen Anforderungen. Darüber hinaus sind auch Fremd-Komponenten, beispielsweise für Lithographie-, Trocknungs- oder sonstige Prozesse, integrierbar.