Prozessbecken und Einbaukomponenten

Prozessbecken sind für die verschiedenen Spül-, Reinigungs- und Ätzprozesse verfügbar. Das Material der Prozessbecken wird nach thermischer und chemischer Resistenz ausgewählt. Die Prozessbäder werden mit verschiedensten Ausstattungen angeboten:

  • Umlauffiltration
  • Temperierungen direkt / indirekt
  • Chemikalienversorgungseinrichtungen
  • Substratbewegung vertikal / horizontal
  • Leitwertmessung für Reinstwasser
  • Ultraschall
  • Megaschallsysteme
  • mechanische oder manuelle Deckelöffnung
  • Kühldeckel / Kühlaufsätze

Die Zusammenstellung der Prozessbecken und deren Ausstattungen erfolgt individuell nach kundenspezifischen Anforderungen. Darüber hinaus sind auch Fremd-Komponenten, beispielsweise für Lithographie-, Trocknungs- oder sonstige Prozesse, integrierbar.

Prozessbecken mit vertikaler Substratbewegung und Quick Dump Rinser
Prozessbecken mit vertikaler Substratbewegung und Quick Dump Rinser
Prozessbecken ausgestattet mit: Megaschallsystem, Chemieversorgungseinrichtung, Kühlfalle und Kühldeckel
Prozessbecken ausgestattet mit: Megaschallsystem, Chemieversorgungseinrichtung, Kühlfalle und Kühldeckel
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